β射線法揚塵監測設備由采樣泵、切割器、β源、電源、檢測系統、溫濕聯控系統（DHS）、數據采集處理單元、數據傳送單元、配套軟件及輔助單元組成。

貝塔射線法揚塵在線監測儀通過對衰減量的測定計算出顆粒物的質量，根據采樣流量、采樣時間和濾膜面積來計算實際狀態下環境空氣中顆粒物的濃度。該設備適用于建筑工地、道路施工、工廠廠界等顆粒物的在線監測。

貝塔β射線揚塵監測系統可自動測量和記錄濃度，采用的是貝塔射線吸收法的工作原理，將C-14作為發射源，其發射恒定的高能量電子，樣品空氣通過切割器以恒定的流量經過進樣管，顆粒物截留在濾膜上。β射線通過濾膜時，能量發生衰減。